作者:admin   發(fā)布時(shí)間:2017/2/15 15:26:40   瀏覽次數(shù):2493

CD5激光位移傳感器檢測(cè)太陽(yáng)能晶硅片的平整度

CD5-W85激光位移傳感器可高精度檢測(cè)透明太陽(yáng)能基板的厚度和平整度。

CD5系列激光位移傳感器控制器CD5A-N內(nèi)置運(yùn)算功能，在進(jìn)行平整度或厚度測(cè)量應(yīng)用時(shí)可通過(guò)簡(jiǎn)便的運(yùn)算處理就可獲取測(cè)量結(jié)果。

CD5-W85屬于常規(guī)型中距離激光位移傳感器，它擁有同級(jí)別中最的高線性度，

激光位移傳感器是利用激光技術(shù)進(jìn)行測(cè)量的傳感器。它由激光器、激光檢測(cè)器和測(cè)量電路組成。激光傳感器是新型測(cè)量?jī)x表。能夠精確非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化?？梢詼y(cè)量位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等精密的幾何測(cè)量。

CD5-W85激光傳感器測(cè)量太陽(yáng)能晶硅片的平整度。平整度的變化檢出可以幫助發(fā)現(xiàn)皺紋，小洞或者重疊，以避免機(jī)器發(fā)生故障。

CD5-W85激光傳感器有直線度好的優(yōu)良特性，同樣激光位移傳感器相對(duì)于我們已知的超聲波傳感器有更高的精度。

為提高太陽(yáng)能晶硅片平整度檢測(cè)水平,提出了基于基準(zhǔn)傳遞原理的晶硅片平整度檢測(cè)方法,給出了采用CD5-W85+CD5A-N激光位移傳感器檢測(cè)測(cè)量出傳感器到被測(cè)物之間的距離，通過(guò)距離的變化來(lái)判斷物體表面的平整度。

CD5-W85可連接多個(gè)感應(yīng)頭的高性能位移傳感器

● 擁有最高分辨率（0.02um）的CD5L-25型。

● 擁有最高線性精度（0.05% F.S. ）的CD5-85型。

● 多重運(yùn)算功能，1個(gè)控制器可同時(shí)連接3個(gè)感應(yīng)頭。

● 感應(yīng)頭可無(wú)需連接控制器，獨(dú)立工作（專(zhuān)利申請(qǐng)中）。

● 通過(guò)RS-422與PC直接連接。

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