激光位移傳感器

激光位移傳感器CD5系列

半導(dǎo)體行業(yè)特別是半導(dǎo)體的核心晶圓片的生產(chǎn)，要求其厚度的平整精度以及切割的精度達(dá)到微米級(jí)以下，高精度激光測(cè)距（位移）傳感器CD5系列在此背景下研發(fā)成功。

高精度激光測(cè)距（位移）傳感器CD5分辨率高達(dá)0.37um，線(xiàn)性精度高達(dá)0.05% F.S.。

激光束穿過(guò)依靠音叉快速上下振動(dòng)的物鏡聚集在目標(biāo)表面。 從目標(biāo)表面反射的光束匯集在小孔處，隨后進(jìn)入感光元件。 

激光測(cè)距（位移）傳感器通過(guò)測(cè)量物鏡在感光時(shí)的確切位置精確測(cè)出與目標(biāo)表面的距離，不會(huì)受到目標(biāo)材質(zhì)、顏色或角度的影響。

 激光位移傳感器技術(shù)參數(shù)

 激光位移傳感器使用特性

一：數(shù)字亞像素處理

激光位移傳感器CD5系列采用數(shù)字亞像素處理技術(shù)，可以將1個(gè)像素細(xì)分成65536個(gè)亞像素（256×256），使其線(xiàn)性精度比傳統(tǒng)位移傳感器提高了2倍以上。

高精度線(xiàn)性圖像傳感器, CD5的感光元器件采用高精度的線(xiàn)性圖像傳感器。與傳統(tǒng)位移傳感器相比，精度提高5倍，速度提高10倍。

高精度感光度修正，高分辨率的電子快門(mén)速度為采樣周期的1/485，因此有助于確保穩(wěn)定的受光量峰值狀態(tài)，自動(dòng)優(yōu)化受光量，即使是不穩(wěn)定表面亦能保持穩(wěn)定檢測(cè)。

高速運(yùn)算處理單元，實(shí)現(xiàn)高速度、高精度運(yùn)算測(cè)量結(jié)，內(nèi)置CD5專(zhuān)用的高速運(yùn)算處理單元。從線(xiàn)性圖像傳感器獲取的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行迅速的修正失真/優(yōu)化/判定等處理，從而實(shí)現(xiàn)高速及高精度的檢測(cè)。

獨(dú)自算法，檢測(cè)半透明或表面不平的物體時(shí)會(huì)產(chǎn)生多重反射光，從而影響到受光波形的精確識(shí)別。Otpex-FA采用獨(dú)自算法解決這個(gè)問(wèn)題。

正反射型激光位移傳感器CD5-L(W)25A/CD5-(W)30A/CD5-(W)85無(wú)需連接控制器亦可獨(dú)自測(cè)量玻璃的表面/背面，并可測(cè)量其厚度。

寬光斑型有效檢測(cè)粗糙表面，獲得較穩(wěn)定的高精度線(xiàn)性精度。

即使光束重疊也不導(dǎo)致測(cè)量誤差，防相互干擾功能即使不同感應(yīng)頭的光束發(fā)生重疊，或2臺(tái)感應(yīng)頭安裝位置較近時(shí)，也可保持穩(wěn)定的高精度測(cè)量。防相互干擾功能:max.2臺(tái)。

不僅CD5的感應(yīng)頭本體防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP67，而且擴(kuò)展連接線(xiàn)連接器的防護(hù)等級(jí)也達(dá)到IP67，無(wú)需再做任何其他的防水措施。

 激光位移傳感器實(shí)例應(yīng)用

分辨率提高5倍

CD5系列的分辨率比普通位移傳感器高5倍，實(shí)現(xiàn)更高精度的測(cè)量。

同等級(jí)產(chǎn)品中精度最高

CD5系列實(shí)現(xiàn)同等級(jí)產(chǎn)品中最高測(cè)量精度的檢測(cè)物體的高度/厚度。

最高線(xiàn)性精度

通過(guò)最高線(xiàn)性精度的CD5-(W)85（±0.05%F.S.）檢測(cè)物體的寬度，實(shí)現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性的測(cè)量。

超長(zhǎng)檢測(cè)距離型

CD5-2000長(zhǎng)距離檢測(cè)金屬滾軸的位置，實(shí)現(xiàn)工業(yè)自動(dòng)化行業(yè)內(nèi)最長(zhǎng)距離的檢測(cè)。

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