作者:   發(fā)布時(shí)間:2014/5/21 14:31:02   瀏覽次數(shù):2068

應(yīng)用在高精度數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)上的壓力傳感器

　　在石油、化工、冶金、電力、紡織、輕工、水利等工業(yè)及科研領(lǐng)域中，都必須進(jìn)行相關(guān)的壓力檢測(cè)與分析。通常壓力值的變化速度較緩慢，但在測(cè)量壓力值并把它由非電量轉(zhuǎn)變成電量這一過(guò)程中，要求精度非常高，本文介紹了一種通用的高精度壓力數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。系統(tǒng)的壓力傳感器選用Mot公司的高精度X型硅壓力傳感器M00，轉(zhuǎn)換精度高、靈敏度高，具有極好的線性度，在高性能單片機(jī)AT89S52的控制下，放大調(diào)理后的模擬電量通過(guò)高精度、高性能芯片ICL7135進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換，可以保證系統(tǒng)具有很高的數(shù)據(jù)采集精度和很強(qiáng)的抗干擾能力，使用壽命長(zhǎng)。系統(tǒng)采用液晶顯示及PS/2鍵盤(pán)接口，實(shí)現(xiàn)了良好的人機(jī)交換。PLD技術(shù)的應(yīng)用，節(jié)省了硬件電路的開(kāi)銷。

　　一、系統(tǒng)的硬件組成及工作原理

　　高精度壓力數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)框圖如圖1所示。壓力傳感器輸出的模擬信號(hào)被放大調(diào)理后經(jīng)模/數(shù)轉(zhuǎn)換模塊轉(zhuǎn)換為數(shù)字量，傳送給單片機(jī)，經(jīng)過(guò)標(biāo)定、運(yùn)算及零點(diǎn)補(bǔ)償?shù)忍幚恚谝壕э@示模塊上顯示出來(lái)，同時(shí)可經(jīng)串行接口傳送到上位機(jī)，實(shí)現(xiàn)良好的人機(jī)交換，鍵盤(pán)提供人機(jī)交互的手段。

高精度壓力數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)框圖

　　1、壓力數(shù)據(jù)采集及信號(hào)調(diào)理電路

　　壓力傳感器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成電流/電壓的器件，可用于測(cè)量壓力、位移等物理量。壓力傳感器的種類很多，其中硅半導(dǎo)體傳感器因其體積小、重量輕、成本低、性能好、易集成等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛的應(yīng)用。硅壓阻式傳感器屬于其中的一種，它是在硅片上用擴(kuò)散或離子注入法形成四個(gè)阻值相等的電阻條，并將它們接成一個(gè)惠斯登電橋。當(dāng)沒(méi)有外加壓力時(shí)，電橋處于平衡狀態(tài)，電橋輸出為零。當(dāng)有外加壓力時(shí)，電橋失去平衡而產(chǎn)生輸出電壓，該電壓大小與壓力有關(guān)，通過(guò)檢測(cè)電壓，即可得到相應(yīng)的壓力值。但這種傳感器由于四個(gè)橋臂電阻不完全匹配而引起測(cè)量誤差，零點(diǎn)偏移較大，不易調(diào)整。

應(yīng)用在高精度數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)上的壓力傳感器

硅壓力傳感器

　　Mot公司生產(chǎn)的X型硅壓力傳感器則可以克服上述缺點(diǎn)。如圖2所示，與惠斯登電橋不同，Mot專利技術(shù)采用單個(gè)X型電阻元件，而不是電橋結(jié)構(gòu)，其壓敏電阻元件呈X型，因而稱為X型壓力傳感器。該X型電阻是利用離子注入工藝光刻在硅膜片上，并采用計(jì)算機(jī)控制的激光修正技術(shù)，溫度補(bǔ)償技術(shù)，使Mot硅M系列壓力傳感器的精度很高，其模擬輸出電壓正比于輸入的壓力值和電源偏置電壓，具有極好的線性度，且靈敏度高，長(zhǎng)期重復(fù)性好。此系列中的M00DP壓力傳感器是一種高精度硅壓式壓力傳感器，本系統(tǒng)采用M00DP作為壓力傳感器，可以很好地滿足系統(tǒng)的要求，它具有如下特點(diǎn)：

①由于采用激光微調(diào)技術(shù)，使電橋零漂輸出很小，一般小于±1mV；
②傳感器靈敏度較高，為40mV±1.5mV；
③傳感器由熱敏電阻組成溫度補(bǔ)償網(wǎng)絡(luò)，在-40℃~+125℃范圍內(nèi)有較好的溫度補(bǔ)償效果，從而提高了傳感器的精度；
④具有極好的線性度（±0.25%F.S）；
⑤有較寬的工作溫度范圍（-40℃~+125℃）；
⑥允許過(guò)載大（400%）。

　　（2）信號(hào)調(diào)理電路

信號(hào)調(diào)理電路

　　信號(hào)經(jīng)高精度壓力傳感器M00DP變?yōu)殡娦盘?hào)，通過(guò)CMOS型8選1多路開(kāi)關(guān)CD4051選擇之后，再送入放大電路，進(jìn)行調(diào)理后輸出到A/D模塊ICL7135進(jìn)行高精度模數(shù)轉(zhuǎn)換。M00DP的供電電壓取為8V，它的滿量程輸出x由下式確定：

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壓力傳感器

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