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技術(shù)文章

傳感器在半導(dǎo)體晶片加工機(jī)上的運(yùn)用

作者:admin   發(fā)布時(shí)間:2018/8/20 11:26:46   瀏覽次數(shù):2202

1、在激烈的加工環(huán)境中提供可靠的檢測(cè)

        微型光電傳感器 WS/WE4-3 帶有 Teflon? 外殼,根據(jù)外殼防護(hù)等級(jí)分級(jí)屬于 IP 69K,因此適用于化學(xué)環(huán)境中。由于 SICK 的傳感器方案故障平均時(shí)間間隔長(zhǎng),即使是在要求極高的應(yīng)用條件下也能勝任。


2、晶片載體的位置監(jiān)控(編碼器)

        晶片載體的位置通過(guò)絕對(duì)值編碼器可靠地測(cè)定:垂直軸上通過(guò) AFS60 單圈型,水平軸上通過(guò) A3M60 多圈型。通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)總線和工業(yè)以太網(wǎng)接口,該編碼器能夠輕易而經(jīng)濟(jì)地集成到機(jī)器控制器中。


3、快速準(zhǔn)確的晶片檢測(cè)(光纖傳感器)

        晶片在機(jī)器人抓手中的準(zhǔn)確定位相對(duì)于其存儲(chǔ)坐標(biāo)可通過(guò)借助于多個(gè)傳感器操縱機(jī)器人控制器而優(yōu)化。為此,傳感器需具有極高的開(kāi)關(guān)頻率、極低的抖動(dòng)和精確的光點(diǎn)。光纖傳感器 WLL180T 具有僅 16 μs 的反應(yīng)時(shí)間,與帶有小型光學(xué)元件的光導(dǎo)纖維體 LL3-TH 結(jié)合,運(yùn)行精準(zhǔn)而經(jīng)濟(jì),完全符合機(jī)器要求。


4、晶片盒中晶片的精確分類

        兩臺(tái)激光漫反射式光電傳感器 WT12L-2 可檢測(cè)晶片邊緣(通常為 C 形)并由此檢測(cè)晶片盒中半導(dǎo)體晶片的位置正確與否。從而防止機(jī)器人抓手損害晶片。由此避免了材料流失和復(fù)雜的維護(hù)作業(yè)。(光電傳感器)


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