隨著科技的迅速發(fā)展,大量的工程測(cè)試問題不斷的出現(xiàn),各種傳感器在土工測(cè)試中也正在得到廣泛的應(yīng)用,如在鐵路橋梁、路基、機(jī)車車輛、儀器制造、爆破、抗震、航空航天設(shè)備等領(lǐng)域。工程測(cè)試的儀器種類繁多,測(cè)試結(jié)果受傳感器、記錄與分析設(shè)備、操作人員的熟練程度等多方面的影響,其中傳感器的選擇在測(cè)試中至為關(guān)鍵。在當(dāng)今的信息時(shí)代里,信息產(chǎn)業(yè)包括信息采集、傳輸、處理三部分,即傳感技術(shù)、通信技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)?,F(xiàn)代的計(jì)算機(jī)技術(shù)和通信技術(shù)由于超大規(guī)模集成電路的飛速發(fā)展,而已經(jīng)充分發(fā)達(dá)后,不僅對(duì)傳感器的精度、可靠性、響應(yīng)速度、獲取的信息量要求越來越高,還要求其成本低廉且使用方便,而傳統(tǒng)傳感器在功能、特性、體積、成本等已難以滿足使用的需要。所以進(jìn)行滿足應(yīng)用需要的各種傳感器新技術(shù)的研究與開發(fā)顯得越來越重要。2.傳感器工作原理及選用原則2.1工作原理傳感器是一種能將物理量、化學(xué)量、生物量等轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的器件。輸出信號(hào)有不同形式,如電壓、電流、頻率、脈沖等,能滿足信息傳輸、處理、記錄、顯示、控制要求,是自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)和自動(dòng)控制系統(tǒng)中不可缺少的元件。如果把計(jì)算機(jī)比作大腦,那么傳感器則相當(dāng)于五官,傳感器能正確感受被測(cè)量并轉(zhuǎn)換成相應(yīng)輸出量,對(duì)系統(tǒng)的質(zhì)量起決定性作用。目前在橋梁、隧道、線路、房屋建筑等工程結(jié)構(gòu)的研究、設(shè)計(jì)、建造與使用中,為了驗(yàn)證設(shè)計(jì)理論、選定設(shè)計(jì)方案、鑒定工程質(zhì)量以及分析使用中產(chǎn)生的問題,往往需要對(duì)工程結(jié)構(gòu)進(jìn)行靜態(tài)或者動(dòng)態(tài)的試驗(yàn),而像土壓力傳感器、加速度傳感器、位移計(jì)傳感器、CCD傳感器等都是獲得試驗(yàn)數(shù)據(jù)的直接媒介。2.2選用原則現(xiàn)代傳感器在原理與結(jié)構(gòu)存在著上千差萬(wàn)別,所以在進(jìn)行某個(gè)量的測(cè)量之前首先要根據(jù)具體的測(cè)量目的、測(cè)量對(duì)象以及測(cè)量環(huán)境合理地選用傳感器。傳感器確定之后,與之相配套的測(cè)量方法和測(cè)量設(shè)備也就可以確定了。測(cè)量結(jié)果的成敗,在很大程度上取決于傳感器的選用是否合理,所以傳感器的選擇顯得尤為重要,現(xiàn)把傳感器的選用原則總結(jié)如下。2.2.1精度精度是傳感器的一個(gè)重要的性能指標(biāo),它是關(guān)系到整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量精度的一個(gè)重要環(huán)節(jié)。傳感器的精度越高,其價(jià)格越昂貴,因此,傳感器的精度只要滿足整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的精度要求即可,不必選得過高。這樣就可在滿足同一測(cè)量目的的諸多傳感器中選擇比較便宜和簡(jiǎn)單合理的傳感器。如果測(cè)量目的是定性分析的,選用重復(fù)精度高的傳感器即可,不宜選用絕對(duì)量值精度高的;如果是為了定量分析,必須獲得精確的測(cè)量值,就需選用精度等級(jí)能滿足要求的傳感器。2.2.2線性范圍傳感器的線形范圍是指輸出與輸入成正比的范圍。以理論上講,在此范圍內(nèi),靈敏度保持定值。傳感器的線性范圍越寬,則其量程越大,并且能保證一定的測(cè)量精度。在選擇傳感器時(shí),當(dāng)傳感器的種類確定以后首先要看其量程是否滿足要求。實(shí)際上,任何傳感器都不能保證絕對(duì)的線性,其線性度也是相對(duì)的。通常當(dāng)所要求測(cè)量精度比較低時(shí),在一定的范圍內(nèi),可將非線性誤差較小的傳感器近似看作線性的,這會(huì)給測(cè)量帶來極大的方便。2.2.3靈敏度的選擇在土工測(cè)試時(shí),在傳感器的線性范圍內(nèi),通常希望傳感器的靈敏度越高越好。但傳感器靈敏度高有其優(yōu)點(diǎn)也有缺點(diǎn)。優(yōu)點(diǎn)是傳感器靈敏度高,被測(cè)量變化對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)的值就比較大,有利于信號(hào)處理。缺點(diǎn)是傳感器的靈敏度高,與測(cè)量無(wú)關(guān)的外界噪聲也容易混入,也會(huì)被放大系統(tǒng)放大,影響測(cè)量精度。因此,要求傳感器本身應(yīng)具有較高的信噪比,盡量減少?gòu)耐饨缫氲母蓴_信號(hào)。傳感器的靈敏度是有方向性的。當(dāng)被測(cè)量是單向量,而且對(duì)其方向性要求較高,則應(yīng)選擇其它方向靈敏度小的傳感器;如果被測(cè)量是多維向量,則要求傳感器的交叉靈敏度越小越好。2.2.4穩(wěn)定性傳感器使用一段時(shí)間后,其性能保持不變化的能力稱為穩(wěn)定性。影響傳感器長(zhǎng)期穩(wěn)定性的因素除傳感器本身結(jié)構(gòu)外,主要是傳感器的使用環(huán)境。因此,要使傳感器具有良好的穩(wěn)定性,傳感器必須要有較強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)能力。比如在鐵路路基動(dòng)應(yīng)力長(zhǎng)期測(cè)試中就要求土壓力傳感器,其工作環(huán)境就是隱蔽潮濕且常受水分的影響,所以要求穩(wěn)定性要好。因此在選擇傳感器之前,應(yīng)對(duì)其使用環(huán)境進(jìn)行調(diào)查,并根據(jù)具體的使用環(huán)境選擇合適的傳感器,或采取適當(dāng)?shù)拇胧瑴p小環(huán)境的影響。土工測(cè)試中傳感器的穩(wěn)定性有定量指標(biāo),在超過使用期后,在使用前應(yīng)重新進(jìn)行標(biāo)定,以確定傳感器的性能是否發(fā)生變化。在某些要求傳感器能長(zhǎng)期使用而又能輕易更換或標(biāo)定的場(chǎng)合,所選用的傳感器穩(wěn)定性要求更嚴(yán)格,要能夠經(jīng)受住長(zhǎng)時(shí)間的考驗(yàn)。2.2.5頻率響應(yīng)特性土工測(cè)試中傳感器的頻率響應(yīng)特性決定了被測(cè)量的頻率范圍,必須在允許頻率范圍內(nèi)保持不失真的測(cè)量條件,實(shí)際上傳感器的響應(yīng)總有一定延遲,希望延遲時(shí)間越短越好。傳感器的頻率響應(yīng)高,可測(cè)的信號(hào)頻率范圍就寬,而由于受到結(jié)構(gòu)特性的影響,機(jī)械系統(tǒng)的慣性較大,固有頻率低的傳感器可測(cè)信號(hào)的頻率較低。在動(dòng)態(tài)測(cè)量中,應(yīng)根據(jù)信號(hào)的特點(diǎn)(穩(wěn)態(tài)、瞬態(tài)、隨機(jī)等)與響應(yīng)特性,避免產(chǎn)生較大的誤差。綜上所述,要進(jìn)行一個(gè)具體的測(cè)量工作,首先要考慮采用何種原理的傳感器,這需要分析多方面的因素之后才能確定。因?yàn)?,即使是測(cè)量同一物理量,也有多種原理的傳感器可供選用,哪一種原理的傳感器更為合適,則需要根據(jù)被測(cè)量的特點(diǎn)和傳感器的使用條件考慮以下一些具體問題:量程的大?。槐粶y(cè)位置對(duì)傳感器體積的要求;測(cè)量方式為接觸式還是非接觸式;信號(hào)的引出方法,有線或是非接觸測(cè)量;傳感器的來源,國(guó)產(chǎn)還是進(jìn)口,價(jià)格能否承受,還是自行研制。在考慮上述問題之后就能根據(jù)測(cè)量對(duì)象與測(cè)量環(huán)境確定選用何種類型的傳感器,然后再考慮傳感器的具體性能指標(biāo)。3傳感器技術(shù)的發(fā)展目前世界許多國(guó)家都在加快對(duì)傳感器新技術(shù)的研究與開發(fā),并且都已取得極大的突破。如今傳感器新技術(shù)的發(fā)展,主要有以下幾個(gè)方面。3.1利用新材料傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ),由于材料科學(xué)進(jìn)步,人們可制造出各種新型傳感器。例如用高分子聚合物薄膜制成溫度傳感器;光導(dǎo)纖維能制成壓力、流量、溫度、位移等多種傳感器;用陶瓷制成壓力傳感器。高分子聚合物能隨周圍環(huán)境的相對(duì)濕度大小成比例地吸附和釋放水分子。高分子電介常數(shù)小,水分子能提高聚合物的介電常數(shù)。將高分子電介質(zhì)做成電容器,測(cè)定電容容量的變化,即可得出相對(duì)濕度。陶瓷電容式壓力傳感器是一種無(wú)中介液的干式壓力傳感器。采用先進(jìn)的陶瓷技術(shù),厚膜電子技術(shù),其技術(shù)性能穩(wěn)定,年漂移量小于0.1%F.S,溫漂小于±0.15%/10K,抗過載強(qiáng),可達(dá)量程的數(shù)百倍。測(cè)量范圍可從0到60MPa。德國(guó)E+H公司和美國(guó)Kavlio公司產(chǎn)品處于領(lǐng)先地位。光導(dǎo)纖維的應(yīng)用是傳感材料的重大突破,其最早用于光通信技術(shù)。在光通信利用中發(fā)現(xiàn)當(dāng)溫度、壓力、電場(chǎng)、磁場(chǎng)等環(huán)境條件變化時(shí),引起光纖傳輸?shù)墓獠◤?qiáng)度、相位、頻率、偏振態(tài)等變化,測(cè)量光波量的變化,就可知道導(dǎo)致這些光波量變化的溫度、壓力、電場(chǎng)、磁場(chǎng)等物理量的大小,利用這些原理可研制出光導(dǎo)纖維傳感器。光纖傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比有許多特點(diǎn):靈敏度高,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、耐腐蝕、電絕緣性好、光路可彎曲、便于實(shí)現(xiàn)遙測(cè)等。光纖傳感受器與集成光路技術(shù)相結(jié)合,加速光纖傳感器技術(shù)的發(fā)展。將集成光路器件代替原有光學(xué)元件和無(wú)源光器件,使光纖傳感器有高的帶寬、低的信號(hào)處理電壓,可靠性高,成本低。光纖傳感器日本處于先進(jìn)水平,如IdecIzumi公司和Sunx公司等。另外擴(kuò)散硅傳感器在土工測(cè)試中也有很好的應(yīng)用前景。3.2發(fā)現(xiàn)并利用新現(xiàn)象利用物理現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、生物效應(yīng)作為傳感器原理,所以研究發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象與新效應(yīng)是傳感器技術(shù)發(fā)展的重要工作,是研究開發(fā)新型傳感器的基礎(chǔ)。日本夏普公司利用超導(dǎo)技術(shù)研制成功高溫超導(dǎo)磁性傳感器,是傳感器技術(shù)的重大突破,其靈敏度高,僅次于超導(dǎo)量子干涉器件。它的制造工藝遠(yuǎn)比超導(dǎo)量子干涉器件簡(jiǎn)單。可用于磁成像技術(shù),有廣泛推廣價(jià)值。利用抗體和抗原在電極表面上相遇復(fù)合時(shí),會(huì)引起電極電位的變化,利用這一現(xiàn)象可制出免疫傳感器。用這種抗體制成的免疫傳感器可對(duì)某生物體內(nèi)是否有這種抗原作檢查。如用肝炎病毒抗體可檢查某人是否患有肝炎,起到快速、準(zhǔn)確作用。美國(guó)加州大學(xué)巳研制出這類傳感器。3.3微機(jī)械加工技術(shù)半導(dǎo)體技術(shù)中的加工方法有氧化、光刻、擴(kuò)散、沉積、平面電子工藝,各向?qū)愿g及蒸鍍,濺射薄膜等,這些都已引進(jìn)到傳感器制造。因而產(chǎn)生了各種新型傳感器,如利用半導(dǎo)體技術(shù)制造出硅微傳感器,利用薄膜工藝制造出快速響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器,利用濺射薄膜工藝制壓力傳感器等。日本橫河公司利用各向?qū)愿g技術(shù)進(jìn)行高精度三維加工,制成全硅諧振式壓力傳感器。核心部分由感壓硅膜片和硅膜片上面制作的兩個(gè)諧振梁結(jié)成,兩個(gè)諧振梁的頻差對(duì)應(yīng)不同的壓力,用頻率差的方法測(cè)壓力,可消除環(huán)境溫度等因素帶來的誤差。當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí),兩個(gè)諧振梁頻率和幅度變化相同,將兩個(gè)頻率差后,其相同變化量就能夠相互抵消。其測(cè)量最高精度可達(dá)0.01%FS。議
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